深圳中科飞测申请晶圆缺陷检测装置及控制方法专利，提高成像效果和检测精确度

金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆缺陷检测装置及控制方法”的专利，公开号CN119901756A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请提供的一种晶圆缺陷检测装置及控制方法，通过调节明场探测器和/或暗场探测器的位置来精准的匹配成像倍率改变下的对应视场变化，实现检测精度可调的同时，能够满足暗场成像和明场成像对视野完整性的要求，达到覆盖任一物镜倍率下明暗场成像视野的目的，提高成像效果和检测精确度。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目245次，财产线索方面有商标信息245条，专利信息930条，此外企业还拥有行政许可38个。

本文源自：金融界

作者：情报员