安徽国芯智能装备申请光刻机取料平台专利，提升换料操作效率

金融界2025年5月5日消息，国家知识产权局信息显示，安徽国芯智能装备有限公司申请一项名为“一种光刻机取料平台”的专利，公开号CN119916653A，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本发明公开了一种光刻机取料平台，涉及光刻机技术领域，包括移料座以及可控制移料座沿着直线路径移动的丝杠滑台，所述移料座上方设有平行分布的掩膜版载板和硅片载板，当移料座滑移至取料位置时，掩膜版载板和硅片载板可朝向相反方向转动至移料座的两侧。所述移料座的两侧分别设有可升、降运动的取料座一和取料座二，随着取料座一和取料座二的上升，可分别将掩膜版与硅片顶出至掩膜版载板与硅片载板上方。本发明中的掩膜版载板和硅片载板位于取料工位时，可朝向相反方向转动至移料座的两侧，使得掩膜版与硅片全面露出，同时对掩膜版载板和硅片载板实施取料、上料操作，降低了取料、上料操作过程中的阻碍，提升了换料操作的效率。

天眼查资料显示，安徽国芯智能装备有限公司，成立于2019年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2012万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽国芯智能装备有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息7条，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可3个。

本文源自：金融界

作者：情报员